提问

我们的产品专家团队期待您的来信。

采用阿迈得®高纯度耐化学性泵优化半导体生产过程

凭借在半导体行业数十年的经验和创新,阿迈得AODD泵成为这些关键应用完美的泵解决方案。阿迈得旨在满足半导体生产商在可靠性、一致性、高效率、耐久性和安全性方面的需求,阿迈得AODD泵运用于半导体制造过程各个阶段,在最重要和最关键的应用中表现优异。

 

如您要了解阿迈得AODD泵改善半导体生产的流程,请查看下方的应用图:

阿迈得半导体泵

阿迈得推荐两种AODD泵型号用于关键和敏感的半导体生产应用。

e-series-pumps-white-chart Futur T_chart
特性与优势 E系列 FUTUR 系列
设计紧凑、简单、零部件少、占用空间小
外壳和隔膜由实心块加工而成,使用寿命长
适用于酸、碱和溶剂
具有优化几何形状的一体式全特氟龙(PTFE)隔膜
所有塑料模型均不含金属(T、H、E)
泵腔之间采用免触串联密封设计
接液部无O形圈密封
采用直流式设计,仅限一个接液外壳部件
没有要安装固定的元件,例如拉杆或卡箍
在洁净室生产线进行组装
耐受温度达到200°C/392°F(Futur H) (120°C)
PERSWING P®空气控制系统无需润滑或维护
可提供独立式脉冲阻尼器,无需拆卸泵和管道进行改装
自吸式
提供ATEX版本
可选隔膜和/或冲程传感器
表面密封的柱型阀
对温度变化不敏感 膨胀补偿(可选)
噪音小