阿迈得 FUTUR 阿迈得 FUTUR S

阿迈得FUTUR系列 半导体行业用AODD泵

阿迈得FUTUR系列气动双隔膜(AODD)泵采用直流式技术,专为半导体行业的化学品输送和循环设计,能够满足半导体工业中处理液体的不同要求。

FUTUR系列泵能够自吸和干运转,结构紧凑,设计简单,零部件少。FUTUR系列泵的泵壳零件使用机加工的实心块,使用寿命长。在洁净室生产线进行清洗、组装和测试。各种规格和材质选项的泵均可提供相应的脉冲阻尼器。

FUTUR具有4种可选材质:

  • 4种可选尺寸,由PTFE / PE制成,适用于酸和腐蚀性物质,最高耐受温度可达在130°C/266°F(FUTUR T型)
  • 2种可选尺寸,由PTFE制成,适用于高温应用、酸性和腐蚀性物质,最高耐受温度可达200°C/392°F(FUTUR H型号)
  • 2种可选尺寸,由PE制成,可用于输送浆料(FUTUR E型号)。
  • 2种可选尺寸,由SS316L制成,可用于输送溶剂(FUTUR S和SH型号)

特性概览

  • 4种材料类型(T/H/E/S)适用于不同的应用
  • 所有塑料型号均不含金属
  • 最高耐受温度达200ºC(392ºF)
  • 泵腔采用免触串联密封专利设计
  • 接液部无O形圈密封
  • 采用直流式设计,仅限一个接液泵壳部件
  • 免维护的PERSWING® P空气控制系统
  • 内部气流
  • 隔膜不带隔板和密封垫片,优化了隔膜的几何形状
  • 表面密封的柱形阀
  • 易于组装和拆卸
  • 无金属固定件,包括拉杆、螺栓或卡箍
  • 独立式脉冲阻尼器,适用于所有材料和规格
  • 隔膜和/或冲程传感器可轻松改装
  • 运行噪音小

材质

零部件 材质
接液中心泵壳材质 PTFE, PE, SS316L (取决于型号)
非接液侧泵壳材质 PTFE, PE, 导电PE, SS316 (取决于型号)
隔膜 PTFE
柱形阀 PTFE, PE (取决于型号)

技术数据

泵尺寸 10 20 50 100
泵尺寸:mm(英寸)
长度 185 (7.3) 201 (7.9) 246 (9.7) 303 (11.9)
宽度 114 (4.5) 150 (5.9) 200 (7.9) 260 (10.2)
高度 131 (5.2) 168 (6.6) 216 (8.5) 266 (10.5)
带阻尼器的泵的尺寸:mm(英寸)
长度 185 (7.3) 201 (7.9) 246 (9.7) 303 (11.9)
宽度 136 (5.4) 161 (6.4) 215 (8.5) 286 (11.3)
高度 246 (9.7) 283 (11.1) 348 (13.7) 429 (16.9)
公称接口尺寸(NPT) 3/8" 1/2" 1" 1 1/4"
空气连接口(NPT) 1/4" 1/4" 1/4" 1/4"
吸升高度,干吸,mWC (ft.) 1 (3.3) 2.5 (8.2) 3.5 (11.5) 4 (13.1)
吸升高度,湿吸,mWC (ft.) 8 (26.2) 9 (29.5) 9 (29.5) 9 (29.5)
最大驱动和操作压力, bar(psig) 6 (87) 6 (87) 6 (87) 6 (87)
最大容量 l/min (gpm) 10 (2.6) 20 (5.3) 50 (13) 100 (26)

可按要求提供FUTUR不锈钢型号的技术数据。

最高操作温度

泵型号 FUTUR H FUTUR T FUTUR E
最大 6 bar
(87 psig)
100°C
212°F
100°C
212°F
70°C
158°F
最大 5 bar
(73 psig)
130°C
266°F
110°C
230°F
70°C
158°F
最大 4 bar
(58 psig)
150°C
302°F
120°C
248°F
70°C
158°F
最大 3 bar
(44 psig)
180°C
356°F
130°C
266°F
70°C
158°F
最大 2 bar
(29 psig)
200°C
392°F
130°C
266°F
70°C
158°F

性能曲线

furtur10-chart
futur20-chart
futur50-chart
futur100-chart